研磨拋光機
設備應用
本系列設備主要適用于藍寶石、碳化硅、氮化鋁、金剛石、氧化嫁、光學(xué)玻璃等硬脆材料的高精度單面拋光加工
設備特點(diǎn)
采用真空吸附工件，工件放置、取下方便
精密元件選用國際知名品牌，確保拋光工件品質(zhì)的******穩定及設備的使用壽命
人性化操作界面，參數設置及工藝方式轉化方便
本系列設備主要適用于藍寶石、碳化硅、氮化鋁、金剛石、氧化嫁、光學(xué)玻璃等硬脆材料的高精度單面拋光加工
設備特點(diǎn)
采用真空吸附工件，工件放置、取下方便
精密元件選用國際知名品牌，確保拋光工件品質(zhì)的******穩定及設備的使用壽命
人性化操作界面，參數設置及工藝方式轉化方便
多規格、多動(dòng)力機型可供用戶(hù)根據需要選擇
設備參數
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參數 |
參數指標 |
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電源 |
240V、10A/110V、10A |
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加工晶圓尺寸 |
2寸～6寸 |
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2個(gè) |
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工作盤(pán)直徑 |
300mm、305mm、380mm、420mm |
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電機轉速 |
0～100rpm |
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盤(pán)轉速 |
0～120rpm |
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擺臂擺動(dòng)頻率 |
0～30spm |
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工作時(shí)間 |
0～10小時(shí) |
