雙面拋光機
適用于2~8英寸晶圓加工
工藝 |
加工能力 |
TV5 |
TTV |
|
鑄鐵盤(pán)+PAD |
4寸 24片/盤(pán) |
≤2μm |
≤5μm |
|
6寸 6片/盤(pán) |
|
工藝 |
加工能力 |
TV5 |
TTV |
|
鑄鐵盤(pán)+PAD |
4寸 24片/盤(pán) |
≤2μm |
≤5μm |
|
6寸 6片/盤(pán) |
|